新加坡测试夜赛灯光 照度高达3000勒克 　　今年9月28日，新加坡将举行F1历史上的首场夜赛。北京时间3月30日，新加坡...[全文] · 盛美半导体独有无应力抛光技术攻克芯片制造  · 我国首台半导体照明关键设备在青问世  · 07全球十大半导体设备厂榜单 五强位次依  · 韩国海力士半导体推出1G最高速存储器  · 今年的广州国际照明展有没有什么新花样啊  · 2008年5月将在台湾新竹举行新一届世界  · 意法半导体汽车级应用处理器助力Garmi  · 东莞市争取三年内完成全市路灯的半导体照明  · 宁波安迪光电2008年LED照明领域专利  · 大阪市采用SharpLED薄膜太阳能蓄电  · 华锐科技实业有限公司LED屏大量加工  · 金三元照明电器奥运会6000多套照明灯具  · 节能减排 共促绿色新光源发展  · 宁波远东照明4500只“三防灯”已由北京  · LED灯生产问题及解决方案

    据盛美创始人、首席执行官王晖介绍，未来主流芯片制造工艺设计必然要求生产工艺采用铜制程、90纳米线宽以下技术。目前，传统化学机械抛光法难以满足这种设计需求，成为影响芯片制造业发展的技术瓶颈。而盛美公司通过技术革新独创的晶圆无应力抛光技术已攻克了这一瓶颈。应用该技术，不仅可满足90、65、45和32 纳米及以下线宽工艺需求，而且该套设备的耗材仅有化学机械抛光法制程设备所需耗材的15%。

    除独有的晶圆无应力抛光技术外，盛美自主研发的镀铜设备、单片晶圆清洗设备也已进入样机销售阶段。据悉，盛美半导体为其核心技术、系统架构与制程、互连架构及整合制程工艺都申请了全球性的知识产权保护，已获得47项专利并另有86项在申请中，形成了完善的排他性专利保护。